カナダの国立ナノテクノロジー研究所 (NINT) の研究者らは、電子レンジを使用して半導体の自己組織化をより迅速に実現する方法を開発しました。
この技術は、チップ製造における従来のリソグラフィーに代わる実行可能な技術となる可能性がある。
自己組織化はナノテクノロジーを実現するための鍵と見なされていますが、これまでは、ナノマテリアルに型を作成させてターゲット材料を充填するブロックコポリマー法は遅すぎて役に立ちませんでした。
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しかし、カナダの研究者らは、旧式の対流調理器から新しい電子レンジに切り替えることで、処理時間が数日から 1 分未満に短縮されることを発見しました。
「マイクロ波を使用することで、ブロックコポリマーを組み立てるのに使用される特定の分子自己集合プロセスの調理時間を大幅に短縮でき、半導体のパターニングに使用する従来のリソグラフィープロセスの実行可能な代替手段になりました。」研究者らは語った。
「これは、半導体業界の現実世界の問題に対処するために自己組織化プロセスが使用された最初の例の 1 つです」と NINT の材料および界面化学の責任者であるジリアン・ブリアク博士は述べています。
「プロセスはできました。次のステップは、それを活用して何か役に立つものを作ることです。」
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